“带我去参观你们首次合格的产品吧?”把紫外光源的问题抛开一旁,许振鸣转移话题,准备去看看第一颗海豚I-1芯片。xiashucom
这颗用四层半光刻制程技术做出来的高精度芯片,纪念价值远比实际经济价值要高许多。故此,章钕京等人已经把这款芯片用有机玻璃密封好,陈列在鸣芯制造公司的产品展览室内。
听说老板要去看一看他们的功劳业绩,章钕京自然很开心,“哈哈…许董,你终于肯关心我们这些属下的成绩喽。”
“谁说不是呢。许董已经有好长一段时间没来我们工厂了。”
“哎,等一等。许董,咱们先去一下三号厂房。那边还有一个好产品。”就在这时,胡明镇却笑嘻嘻的摆了摆手。他拉着许振鸣,想要许振鸣先去视察一下国产第一台蚀刻机。
听到这番话,许振鸣停下脚步,郑重的点点头,“老胡说得对,咱们是应该先去看看那台国产蚀刻机。”
蚀刻机的国产化是华国人必走之路,一鸣集团公司能在97年7月就完成这项创举,许振鸣认为值得庆贺一下的。
不多久,众人来到三号厂房内。
“嘟…嘟…嘟……”
“轻一点,小张。你让操作工把那个等离子发生器的吊起来,悬空放置,一定要做好防护工作。”
无尘车间里,一鸣集团半导体设备制造公司的郭连生,此时正大声指挥着工程师们正在吊装设备。郭连生的跟前,那台进口的蚀刻机已经被拆开,叉车工正在起吊蚀刻机的等离子发生器。
看到这一幕,许振鸣有点愣神,“老胡,你们这是在干啥?”他没看明白,不知道郭连生等人在搞什么名堂。好好的一台进口蚀刻机,此时为何要拆开解体?
“许董,我们这台国产蚀刻机,其实就是逆向工程仿制岛国人的。虽然已经在实验室做过很多次试验,但我们还是不放心,准备把国产蚀刻机跟进口货交换一下主要部件。”
胡明镇告诉许振鸣,他们团队的计划是分三步走的。
第一步利用人家进口货的主机系统,毕竟人家的机械精度高;第二步利用人家的等离子系统,顺便对比一下国产等离子技术和岛国等离子技术的差距;第三步才是完全替代进口货,把国产蚀刻机换到生产线上检验。
如此说来,郭连生的团队倒是比较小心,不想影响3号芯片生产线的正常生产。
“蚀刻机的精度要求有这么高吗?”听完胡明镇的介绍,许振鸣感到有些意外。
电路时刻有两种方式,一种是湿法蚀刻,一种是干法。
湿法蚀刻是用化学试剂来蚀刻电路板,从而把曝光好的电路图留下来。这种方法一般用在精度不高的芯片、电子电路等产品当中。
但海豚I-1芯片制程精度达到130纳米,目前只能用干法蚀刻才能完成电路蚀刻。
而我们国家在等离子束光源发生器这方面的技术还落后国外,光源产生的等离子束发散度比较大,蚀刻好的电路有些粗糙,非常有可能会漏电!
胡明镇皱着眉头,把蚀刻机这方面的情况跟许振鸣介绍了一番。总之一句话,这种设备也不简单!
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