“老胡,来。zuowenbolan咱们一起合影留念!”这时,董教授朝正在观看工作站显示屏的胡明镇,使劲的招手。
“对!这么重要的时刻,咱们一定要记录下来。”
“小梁、老郝,你们都一起来合影留念。”
董教授、单教授等一干院士级专家教授们都非常兴奋,抑制不住内心的激动。他们都在手舞足蹈的说着话。
光刻硅晶圆片的速度非常快,两分钟不到就可以给一片8英寸的硅晶圆片完成曝光流程工艺。因为这次给朱雀·酷睿I芯片做流片工程,其实就是一次测试。胡明镇没安排批量生产,只让手下的团队准备了10片硅晶圆片。
在董教授等人邀请他合影留念的时候,正在工作的KrF光刻机已经完成了给第一片硅晶圆片曝光照相的流程,用时在95秒左右。这个速度在目前来说应该是全球第一,要远远超过那三台从米国运来的KrF光刻机。
不但如此,胡明镇设计的这台第三代光刻机,一直秉承了鸣芯制造公司的传统,采用双工制程工艺,拥有两个工作台。
在刘教授这帮人激动不已手舞足蹈的时候,这台光刻机的激光头已经挪动位置,转到另外一个工作台上开始扫描掩膜片,给硅晶圆片曝光。
于此同时,另外一只检验激光头开始工作,给已经曝光好的硅晶圆片做检验,执行硅晶圆片蚀刻工艺前的验片制程工艺。
这一套制程工艺都是一鸣集团公司的Foundry制程专利技术,一般情况下是不对外开发的。
刘教授、董教授和单教授等一般院士专家,也是沾了光,要向总部首长汇报全国首台第三代光刻机科研成果,才得以在这么机密的环境里近距离观看芯片光刻制程工艺流程。所以这帮人非常激动,有点把持不住自己。
看了看这些个鬓发花白的专家教授,胡明镇含着笑微微一摇头,“老刘,合影留念的事情咱们不着急,等验片结果出来再说吧。”
芯片光刻、验片都是微观的精密工艺,用肉眼是不能检验出结果。只能通过电脑模拟显示光刻流程和验片流程是情况。
梁宋松此时的工作就是在观察芯片扫描光刻的验片数据结果,两只眼睛一眨不眨的盯着工作站的显示屏。突然,他大笑一声,“成了,老师。第一片硅晶片光刻成品率达到百分之一百!”
说完这些,他一跃而起,从电脑转椅上跳了起来。
虽然说光刻流程工艺仅仅是芯片流片制程工艺的第一步,后续的工序仍然会降低芯片成品率,但百之一百的成功率还是值得庆贺的。
“百分一百的成品率?这么厉害?”刘教授听到这个数据,顿时有点瞠目结舌了。
其他的专家教授们也是如此,顿时都跑到那台工作站的显示屏旁边,想要一睹为快。
此时此刻,电脑屏幕上显示的一组组图形比对数据,并没有什么芯片物理图形,不是很直观。但那些一组组的比对数据却可以明确的指出,第一片硅晶圆片的曝光光刻成功率。
“各位专家,我们这台光刻机采用扫描式曝光制程工艺,其原理和复印机的扫描流程很像。当激光头从掩膜片的上方扫过,激光就把掩膜片上的物理电路图曝光到硅晶圆片的光刻胶涂层,留下电路图的影像……”
梁宋松指着电脑屏幕,把电脑屏幕上模拟的光刻流程、硅晶圆片比对流程等制程工艺流程,一一跟这些专家们介绍一番。
这些专家们理论知识比较丰富,第三代光刻机的光刻制程工艺却比较陌生。
特别是胡明镇发明的FinFET制程工艺,他们只是在专业杂志上看过技术论文报道,根本没亲眼见识过。今天能有这次机会亲眼看到KrF光刻机实施光刻、验片等工艺流程,总算是开了眼界。
“这套系统的技术确实强,已经超过我所意料之外。”
“真没想到,我们华国也能制造出这种尖端精密设备!”
“胡教授,你们给我们国家争光了。”
刘教授、董教授、单教授等人啧啧称赞,脸上浮现出崇敬不已的表情。
不服气不行啊,事实就摆在眼前。
这帮教授们此时都在打着小算盘,准备回去立即鼓动自己的学生来一鸣集团公司任职。“为甚要出国留学?去鸣芯制造公司任职比留学还要强许多啊!”他们都如是想着。
这时候,梁宋松洋洋得意的介绍,“各位专家,双工制程工艺、FinFET制程工艺、扫描式制程工艺等先进的制程工艺,都是我们团队和老师研发的,在第二代光刻机上已经得到过验证。
“不但如此,我们这台光刻机还应用了浸入式制程工艺。把光刻精度再次提高一大截。这种浸入式制程工艺在全球都是一绝,米国佬就是为了得到这种制程工艺才赠送我们三台KrF光刻机的……”
刘教授等人虽然从新闻报道上听说过梁宋松所说得的典故,但现在亲耳听到这段故事,心情激动的不行,宛如喝了蜂蜜一样。
“我们华国有这种尖端技术,并不比老外的水平差!”他们都心潮澎湃,胸膛不由自主的挺了起来,腰杆子也值了。
“不要瞎吹了,快准备好拍照留念的事情。”这时候,芯片技术大咖胡明镇却给梁宋松下达扫兴的命令。
梁宋松没办法,只好朝各位专家们歉意的笑了笑,开始准备布置木椅、幕布、照相机等设施。他也知道,自己的老师这是在故意支开自己,不让自己在这里夸赞老师和团队的功绩。
“老胡,从现在的情况来看,这台光刻机的性能应该达到设计要求了吧?”刘教授意犹未尽,瞥了一眼离去的梁宋松,然后走到胡明镇的身旁。
而胡明镇却微微摇头,“按照我的本意,这台光刻机的速度要达到每分钟曝光一片硅晶圆片。但由于机械、光源功率、光源精度等因素的影响,我们的速度只能达到设计数据的67%。惭愧啊……”
即便这台光刻机有可能是全球目前最先进的光刻机,胡明镇对自己的作品还是感到有些不满意。
“老胡,你就不要矫情了。有了这台光刻机,我们的腰杆子已经直起来喽!”就在这时,章钕京来到光刻室的门卫,咧着大嘴笑呵呵的打趣。
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